Физика микроэлектронных структур

Курс «Физика микроэлектронных структур» предназначен, в первую очередь, для студентов, так или иначе специализирующихся в области микроэлектроники. Микроэлектроника является одной из главных технологий в современном мире и одна из немногих, которая динамично развивается в настоящее время. Физика электронных приборов представляет собой необъятную область, включающее в себя описание различных видов электронных приборов из разных материалов, работающих на разных принципах с широким набором разнообразных физических эффектов.   Схемотехническое моделирование электронных устройств и интегральных схем основано на численном решении уравнений Кирхгофа электрических цепях для нелинейных элементов (например, транзисторов) и для таких элементов требуются простые физические модели для правильного описания нелинейных характеристик. Таким образом, основой физического моделирования оказывается идеология т.н. компактного моделирования, когда модель состоит из ограниченного набора относительно простых аналитических формул, не требующих дополнительных численных пересчетов. Поэтому понимание основ физики работы электронных приборов является необходимым условием подготовки хорошего инженера–электронщика. В предлагаемом курсе делается упор на изложении  фундаментальных физических принципов. Для лучшего восприятия изложение ведется от простого к сложному.

Изучение дисциплины  базируется на следующих курсах: Математика (основы интегрального и дифференциального исчисления, векторный и тензорный анализ); Общая физика (курс общей физики в части электричества и магнетизма); Неорганическая химия; Теоретические основы специальности (базовые знания в области физики твердого тела или основ физики полупроводников): основы микроэлектроники. Для освоения данной дисциплины необходимо: знать основы технологии изготовления микроэлектронных структур, теорию работы и основные характеристики полупроводниковых приборов, их математические модели; уметь выполнять численные оценки электрофизических параметров микроэлектронных структур; владеть навыками математических расчетов с использованием компьютера.