Вакуумные системы и технологии

Вакуумные технологии - ключ к нашему высокотехнологичному обществу. Они используются для большого количества технических процессов и продуктов, включая компьютерные чипы, наноструктуры, микроэлектронные покрытия и компоненты, а также в области химии и биологии. В этом инженерном курсе вы получите полный обзор конструкции и принципов работы вакуумных устройств и систем, которые помогут вам лучше проектировать различные материалы и технологии. Курс является двуязычным (читается на английском языке с русскими субтитрами) и предназначен в первую очередь для иностранных студентов, обучающихся в России.

Модуль 1. Теория вакуума Применение вакуума. Ознакомление с молекулярно-кинетической теорией газов Молекулярно-кинетическая теория газов Явления сорбции в вакууме Конденсация и испарение Физические процессы в вакууме Модуль 2. Механические и физико-химические средства получения вакуума Механические вакуумные насосы предварительного разряжения. Конструкция, принципы работы и характеристики. Часть 1. Механические вакуумные насосы предварительного разряжения. Конструкция, принципы работы и характеристики. Часть 2 Турбинные и диффузионные насосы. Конструкция, принципы работы и характеристики Эжекторный насос. Вакуумные ловушки. Конструкция, принципы работы и характеристики Ионные и ионно-геттерные насосы. Конструкция, принципы работы и характеристики Сублимационные и распылительные ионные насосы. Конструкция, принцип работы, характеристики Сорбционно-конденсационные насосы. Конструкция, принципы работы и характеристики Модуль 3. Методы измерения давления Методы измерения общего давления. Анероидные и гидростатические вакуумметры Методы измерения общего давления. Тепловые вакуумметры Методы измерения общего давления. Ионизационные вакуумметры Методы измерения парциального давления. Тип анализаторов и ловушек Методы измерения парциального давления. Масс-спектрометры Модуль 4. Конструктивные элементы и принципы построения вакуумных систем Клапаны и затворы. Конструкция, принцип работы Смотровые клапаны. Конструкция, принцип работы Вакуумный ввод Методы обнаружения утечек Расчет вакуумных систем для выбора вакуумных насосов Вакуумные системы с диффузионными и турбинными насосами Вакуумные системы с ионными и конденсационными насосами Тип уплотнения